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一、产品概述
沃特伊兰环境专为第三代半导体、锂电隔膜与OLED蒸镀等新材料工艺量身定制的“W-UPW-NM系列”超纯水设备,以“双级RO+连续电去离子(CEDI)+185 nm UV/TOC裂解+终端超滤”多级级耦合工艺为核心,在25 °C进水条件下稳定产出≥18.2 MΩ·cm、≤1 ppb TOC、≤1 particle/mL(≥0.1 μm)的超纯水,系统回收率≥85 %,吨水能耗≤0.8 kWh,较传统混床工艺节水30 %、减药90 %,整机模块化设计,可一键切换至18 MΩ·cm或15 MΩ·cm两种产水模式,满足实验室小试到千吨级量产的弹性扩产需求
二、设备照片展示
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三、水质杂质对新材料工艺中的负面影响
在原子层沉积(ALD)制备高κ栅介质时,若超纯水中Na⁺、Cl⁻浓度超过5 ppt,界面固定电荷密度将骤增至3×10¹² cm⁻²,导致阈值电压漂移>150 mV、器件漏电流上升一个数量级;锂电湿法隔膜拉伸工序中,≥0.1 μm的硅酸盐颗粒可诱发微孔缺陷,使隔膜孔隙率下降2 %,直接拉低电池循环寿命8 %;OLED蒸镀前清洗若TOC残留>3 ppb,有机碳在高温下碳化形成黑化点,像素发光效率衰减可达12 %,而沃特伊兰将上述关键指标分别控制在<20 ppt、<1 particle/mL、<1 ppb,以数据级水质保障新材料良率与性能极限。
四、工艺流程图(仅供参考,详细流程请咨询在线客服)
五、技术参数
六、沃特伊兰的优势
沃特伊兰环境的新材料超纯水设备不仅具备卓越的净化能力,还拥有智能化的管理系统,能够实现远程监控和故障诊断,极大提高了运维效率。我们的设备采用高品质材料和精密控制元件,确保长时间连续工作状态下依然保持优良性能。此外,我们提供定制化服务,根据客户的具体需求灵活调整配置,以达到最佳效果。选择沃特伊兰环境的半导体超纯水设备,意味着您将获得一个可靠、高效且环保的水资源解决方案,为您的半导体生产线保驾护航,助力您的企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。
提供技术文件
工艺流程图
工程案例
工艺说明书
P&ID图
电气控制图
设备理论培训
设备构造培训
设备维修保养培训
设备操作培训
设备一年保修
终身售后服务
4小时上门
24小时解决问题
保修期内设备故障供方负责
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